硅烷燃烧洗涤塔

本产品采用优质不锈钢板进行制造，根据硅烷与空气接触而自然的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气中。

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详情介绍

设备说明

注意事项

•不锈钢硅烷燃烧净化塔必须保证负压200Pa以上，

•PECVD设备真空泵后面必须加装应急燃烧筒（详见设备流程图），

•不锈钢硅烷燃烧浄化塔必须采用新工艺，双风机抽风一用一备，

•风机进风口的电动调节阀必须与风机联动，

•风机进风口前必须加装蝶阀，以控制硅烷燃烧净化装置内负压，

•硅烷燃烧净化装置新风补风口必须加装调节阀，

•进气管接口外1-1.5米处必须由可以拆装的连接口，以便清除燃烧箱杂物而可以拆除。

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