设备说明

     本公司为了解决，Epi（磊晶）、Poly （多晶）PECVD化学气相沉积工艺尾气所产生的SiO粉尘在进气口的堵塞问题，引进美国先进技术成功研发出了迄今更高效、更可靠、更低 成本的Epi（磊晶）、Poly （多晶）PECVD化学气相沉积工艺的外延炉尾气净化器。

     由于采用了本公司研制的先进进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘装置，使该洗涤器的-次维护时间可以长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。 外延炉尾气净化器，其产品技术指标达到国际同类产品先进水平，具有结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行噪音低、运行成本低、废气净化效 宰高、废气处理效果好、设备检修方便、维护停机时间短、设备正常运行时间长、工艺稳定性好、安全可靠等诸多特点。

 应用领域

    外延炉尾气净化器主要处理Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气所产生的二氧化硅（SIO2） 粉尘、三氟化硅（SiHC3)四氯化硅（sicl4）其它粉尘和任何水溶性污染物废气流等。