产品展示
系统说明
★净化能力强,净化效率可达99.9%
★安全,不产生明火
★运营成本低,无废水
★易于维护,更换吸附桶简单方便
★操作稳定,采用西门子PLC自动控制
★配置应急桶和双主桶备份吸附桶, 无缝切换
★主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED、实验室等
★主要应用工艺:IMP、Etch、MOCVD、CVD、厂务等
★可处理的气体:F2,CL2,HF,HCL,DCS,TCS,BF3,BCL3,PF3,PH3,AsH3,B2H6,SiH4,GeH4,TMA,TMB,DEZ,NH3,H2S,H2Se,SO2,NO2,WF6,C2H4等
★设备尺寸:800(W)x 1850(D)x 1800(H)mm
★吸附剂容量:400L(200Lx2)