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Scrubber

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系统说明★净化能力强,净化效率可达99.9%★安全,不产生明火★运营成本低,无废水★易于维护,更换吸附桶简单方便★操作稳定,采用西门子PLC自动控制★配置应急桶和双主桶备份吸附桶, 无缝切换★主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED、实···
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系统说明

★净化能力强,净化效率可达99.9%

★安全,不产生明火

★运营成本低,无废水

★易于维护,更换吸附桶简单方便

★操作稳定,采用西门子PLC自动控制

★配置应急桶和双主桶备份吸附桶, 无缝切换

★主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED、实验室等

★主要应用工艺:IMP、Etch、MOCVD、CVD、厂务等

★可处理的气体:F2,CL2,HF,HCL,DCS,TCS,BF3,BCL3,PF3,PH3,AsH3,B2H6,SiH4,GeH4,TMA,TMB,DEZ,NH3,H2S,H2Se,SO2,NO2,WF6,C2H4等

★设备尺寸:800(W)x 1850(D)x 1800(H)mm

★吸附剂容量:400L(200Lx2)

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